招標公告
三維異構(gòu)射頻SIP高精度疊層組裝快速驗證系統(tǒng)項目已具備招標條件。資金已落實。中科信工程咨詢(北京) (招標代理機構(gòu))受中國電子科技集團公司第十研究所(招標人)的委托,對該項目進行國際公開招標采購。
1. 招標范圍
1.1 貨物名稱:三維異構(gòu)射頻SIP高精度疊層組裝快速驗證系統(tǒng)
1.2 招標編號:0779-24400401A020
1.3 主要功能要求:三維異構(gòu)射頻SIP高精度疊層組裝快速驗證系統(tǒng)由晶圓鍵合系統(tǒng),倒裝焊設備,等離子清洗機,氮氣存儲設備等組成,用途如下:
晶圓鍵合系統(tǒng)可進行晶圓的高精度對位,對位后裝夾轉(zhuǎn)移,晶圓的共晶鍵合、金屬擴散鍵合等工藝能力,可實現(xiàn)硅基SIP的晶圓級氣密封裝。
倒裝焊設備用于我所微波/毫米波射頻組件堆疊工藝,運用高精度取放系統(tǒng)拾取芯片/基板,再貼放到對應的基板上,通過加熱加壓或者超聲加熱功能使芯片/基板上的凸點融化并且互聯(lián)到基板的對應電路上,從而實現(xiàn)芯片與芯片,基板與基板之間的疊層焊接互連。
等離子清洗機具備表面污染物去除功能,可用于晶圓鍵合、金絲鍵合前鍵合面清洗,保障鍵合質(zhì)量。
氮氣存儲設備用于晶圓、硅基SIP模塊的存儲,設備通過氮氣氛圍可有效降低存儲柜內(nèi)部氧含量及濕度,減少晶圓、硅基SIP模塊鍵合面氧化。
1.4主要技術指標:
① 可加工芯片尺寸:(L*W)不低于1mm~18mm范圍 ,厚度不低于0.05mm ~1mm 范圍;
② 鍵合頭溫度:至少包含常溫~450±5℃范圍;
③ 倒裝鍵合對位精度:不低于±5μm
1.5 數(shù)量:1套。
1.6 交貨期:8個月。
1.7 項目現(xiàn)場:中國電子科技集團公司第十研究所。
2. 對投標人的資格要求
2.1投標人必須是響應招標的法人或其他組織,具有獨立承擔民事責任能力。
2.2設備業(yè)績要求:投標人應提供本次所投主要設備(倒裝焊設備及晶圓鍵合系統(tǒng))同型號的產(chǎn)品在國內(nèi)的供貨業(yè)績,提供附帶有技術協(xié)議或技術指標的合同復印件,合同內(nèi)容應能體現(xiàn)甲乙雙方簽字或蓋章頁、標的物型號、制造商名稱(必須為本次投標產(chǎn)品制造商)、技術協(xié)議或技術指標等主要內(nèi)容,未按上述要求提供的業(yè)績證明均不予認可。
2.3本次招標接受代理商投標。
2.4本次招標不接受聯(lián)合體投標。
2.5投標人必須向招標代理機構(gòu)
3. 招標
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編輯:dljcz