日 期:2024年 9 月 23 日
招標(biāo)編號(hào):0722-244FE2144
項(xiàng)目名稱:VPD晶圓表面污染物分析儀(重新招標(biāo))
受重慶芯聯(lián)微電子 委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo),于2024年 9 月 23 日發(fā)布招標(biāo)公告。
本次招標(biāo)采用國際公開招標(biāo)方式。
1. 招標(biāo)條件
1.1 項(xiàng)目概況:VPD晶圓表面污染物分析儀1臺(tái),全新。
1.2 資金到位或資金來源落實(shí)情況:已落實(shí)。
1.3 項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備。
2. 招標(biāo)內(nèi)容
2.1交貨
比較常見的偵測技術(shù)手段是首先通過VPD (晶圓級(jí)氣相分解儀)的方式收集晶圓表面的超微量雜質(zhì),再結(jié)合ICP-MS(等離子質(zhì)譜儀)進(jìn)行金屬痕量分析。
此種組合方法的檢出限可以低至 107 原子/厘米2(ppt 級(jí)別)。
2.3 交貨時(shí)間:合同生效后240天。
3. 投標(biāo)人資格要求
3.1 投標(biāo)人具有獨(dú)立法人資格,提供有效的營業(yè)登記等許可經(jīng)營的證明文件。
3.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo),代理商必須獲得制造商的合法授權(quán),提供制造商授權(quán)書。
3.3 投標(biāo)人或投標(biāo)貨物的制造商須具備在近三年(2022年1月1日至今)向5家以上中國大陸12英寸集成電路制造企業(yè)提供離線式VPD設(shè)備,且在先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)供貨和安裝調(diào)試不低于5臺(tái)實(shí)績;(需提供業(yè)績合同復(fù)印件或驗(yàn)收證明復(fù)印件或制造商出具的所投標(biāo)產(chǎn)品的客戶銷售清單并加蓋制造商公章作為證明材料)。
3.4本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.5投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)
4.
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