中工國際招標 對下列產品及服務進行國際公開競爭性招標，于2020-08-03在 公告。本次招標采用傳統招標方式，現邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:電子束光刻機，項目采購預算金額：1500萬RMB
資金到位或資金來源落實情況:已落實
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內容
招標項目編號:1675-20420071223d
招標項目名稱:北京元芯碳基集成電路研究院電子束光刻機
項目實施地點:中國 產品名稱 數量 簡要技術規(guī)格備注1 電子束光刻機 1套 #2.5.1 加速電壓為100kV，寫場尺寸為100μm 下，最小線寬不大于 8nm；寫場尺寸為1mm 下，最小線寬不大于15nm。 *2.5.2 100kv 加速電壓下，主場畸變： - 不大于±10nm @ 500um 寫場 - 不大于±15nm @ 1mm 寫場 2.5.3 束電流漂移不大于±0.5%/h（開環(huán)測量） *2.5.4 曝光Dose調節(jié)范圍：32bit（2^32級） #2.5.5 100kV 加速電壓下，拼接精度： - 不大于±15nm @ 250um 寫場 - 不大于±30nm @ 1mm 寫場 *2.5.6 100kV 加速電壓下，直寫模式的套刻精度： - 不大于 ±5nm @200um 寫場 - 不大于 ±10nm @1mm 寫場 *2.5.7自動尋找50 個對準標記時間不大于90s交貨期：合同生效并收到預付款后12個月，最遲開始調試驗收的日期不早于2022年12月30日。
3、投標人資格要求
投標人應具備的資格或業(yè)績:A、投標人須具有獨立法人資格，生產或經營范圍應包含擬投設備；
B、投標同型號產品近三年內的使用業(yè)績，并提供證明文件。
C、同一生產廠家只允許授權一家代理商參加投標。
是否接書”原件及被授權人身份證復印件加蓋公章；
C、代理商證明，產品制造商針對本項目的產品授權書同時提供生產廠家投標產品的證明材料復印件加蓋公章。
招標代理機構對報名資料的審驗并不作為投標單位資格條件的最終認定，投標單位應對資料的真實性、合規(guī)性負責；開標后，仍將由評審委員會對投標單位的資格證明材料進行資格審核，不符合投標資格條件的投標單位的投標將被拒絕。

未曾在中國電力招標采購網（）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載投標文件！

項目 聯系人：李楊  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
手機：13683233285 
QQ:1211306049 
微信：Li13683233285 郵箱：1211306049@qq.com

備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術服務費后，查看項目業(yè)主，招標公告，中標公示等，并下載資格預審范圍，資質要求，招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按公告詳細內容為準，以招標業(yè)主的解答為準本。

編輯：chinabidding.co